双束聚焦离子显微镜

时间:2020-11-23 14:09:10  作者:  点击:



设备基本信息:

仪器名称:双束聚焦离子显微镜

仪器型号:TESCAN-S8000

放置地点:明向校区分析测试中心1

管理人:郑留伟(13327461120

设备简介:

该设备在双束电镜(FIB-SEM)的基础上配备了EDSEBSD,同时还集成了飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS系统。利用该设备不但可以高效地进行SEMEDS以及EBSD数据获取和分析,也能利用FIB进行TEM精准制样、离子束加工和沉积等,TOF-SIMS系统可以进行高空间分辨的质谱分析,对包含HLi等传统EDS无法分析的全元素以及同位素进行分析表征。该设备还配备了原位高温力学测试系统,可以进行高温拉伸、弯曲等原位组织及力学性能测试。

设备主要功能:

1. TEM精准制样及聚焦离子束加工;

2. TOF-SIMS二次离子质谱分析;

3. 原位高温组织及力学测试

4. 常规SEM+EDS+EBSD



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