设备基本信息：

仪器名称：双束聚焦离子显微镜

仪器型号：TESCAN-S8000

放置地点：明向校区分析测试中心1楼

管理人：郑老师（13327461120）

设备简介：

该设备在双束电镜(FIB-SEM)的基础上配备了EDS和EBSD，同时还集成了飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS系统。利用该设备不但可以高效地进行SEM、EDS以及EBSD数据获取和分析，也能利用FIB进行TEM精准制样、离子束加工和沉积等，TOF-SIMS系统可以进行高空间分辨的质谱分析，对包含H、Li等传统EDS无法分析的全元素以及同位素进行分析表征。该设备还配备了原位高温力学测试系统，可以进行高温拉伸、弯曲等原位组织及力学性能测试。

设备主要功能：

1. TEM精准制样及聚焦离子束加工；

2. TOF-SIMS二次离子质谱分析；

3. 原位高温组织及力学测试

4. 常规SEM+EDS+EBSD