冷场发射扫描电镜(SEM)

时间:2019-03-04 13:16:21  作者:  点击:






仪器基本信息:

仪器名称:冷场发射扫描电镜(SEM

仪器型号:日立(HITACHI) SU8010

放置地点:明向校区分析测试中心1

管理人:贾静,13453195763


仪器简介:

SU8010高分辨场发射扫描电镜的组成部分有:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统、控制系统),自动变压器,冷却循环水系统,空压机,电脑工作站,并配备有EDAX能谱仪与离子溅射仪。

适用于纳米材料等各种样品(金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等)的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析。对于不导电样品,特别是氧化物纳米材料和半导体样品,可直接在超低电压下进行高分辨率观察。

本仪器不接收含铁钴镍的磁性样品,特别是磁性粉末,以及液体、熔融蒸发、挥发性样品。


主要技术参数:

1. 分辨率:1.0 nm (加速电压15 kV)1.3 nm (减速电压2 KV)

2. 放大倍率:低倍模式,20 X2000 X;高倍模式,100 X800, 000 X (照片倍率)

3. 加速电压:0.530 KV, 着陆电压:不窄于0.12.0 KV

4. 样品台尺寸:可装直径小于等于26 mm的样品;

5. 元素检测范围:Be 4~Am 95

6. 喷金样品最大尺寸:直径60 mm,高度20 mm




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