日本电子 JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜
设备基本信息:
仪器名称:7900F 热场发射扫描电子显微镜
仪器型号:JSM-7900F
放置地点:明向校区分析测试中心一层107房间
管理人:樊老师(13513618083)
主要规格及技术指标
⟡ 分辨率:0.6nm (15kV)0.7nm (1kV)
⟡ 放大倍数:25 to 1,000,000x
⟡ 加速电压:0.01 to 30kV
⟡ 束流强度:200 nA(15kV)
⟡ 电子枪:浸没式热场发射电子枪
⟡ 物镜设计:超级混合式物镜
⟡ 样品台:5轴马达驱动
主要功能及特色
日本电子JSM-7900F 是 JEOL 的新旗舰热场发射扫描电子显微镜,它具备超高的分辨率0.6 nm (15 kV) and 0.7 nm (1 kV),高速精确分析能力,稳定的大束流,从磁性样品到非导体样品使用范围广泛,同时配备有EDS与软X射线分析功能,可对样品微区成分进行定量与定性分析,其中软X射线的理论分辨能力为0.3Ev,远高于EDS,对轻元素的分析非常准确。
主要附件及配置:EDS能谱仪,软X射线分析谱仪