仪器基本信息：

仪器名称：冷场发射扫描电镜（SEM）

仪器型号：日立(HITACHI) ，SU8010

放置地点：明向校区分析测试中心1楼

管理人：刘老师，13753492242

仪器简介：

SU8010高分辨场发射扫描电镜的组成部分有：主机（包括真空系统、电子光学系统、检测器系统、控制系统），自动变压器，冷却循环水系统，空压机，电脑工作站，并配备有EDAX能谱仪与离子溅射仪。

适用于纳米材料等各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析。对于不导电样品，特别是氧化物纳米材料和半导体样品，可直接在超低电压下进行高分辨率观察。

本仪器不接收含铁钴镍的磁性样品，特别是磁性粉末，以及液体、熔融蒸发、挥发性样品。

主要技术参数：

1. 分辨率：1.0 nm (加速电压15 kV)，1.3 nm (减速电压2 KV)；

2. 放大倍率：低倍模式，20 X～2000 X；高倍模式，100 X～800, 000 X (照片倍率)；

3. 加速电压：0.5～30 KV, 着陆电压：不窄于0.1～2.0 KV；

4. 样品台尺寸：可装直径小于等于26 mm的样品；

5. 元素检测范围：Be 4~Am 95；

6. 喷金样品最大尺寸：直径60 mm，高度20 mm。